技術簡介： 本發明公開一種盤狀機械結構的三維自組裝制造方法，首先變形前的平面機械結構由對溫度敏感的聚合物薄圓板、依次套接在對溫度敏感的聚合物薄圓板外周圈的多個尺寸預設的熱膨脹系數不同的均質聚合…… 查看詳細 >
技術簡介： 本發明公開了一種加工微米/亞微米尺度塊體試樣的方法，該方法首先利用光刻蝕加工得到若干個微米尺度的塊體試樣“雛形”，三維尺寸相對于最終微米/亞微米塊體試樣尺寸有所盈余，然后利用聚焦離子…… 查看詳細 >
技術簡介： 一種基于可動柵極式場效應晶體管的微力傳感器及其制備方法，結構包括由四根直梁支撐的中間質量塊，中間質量塊前端設置探針，中間質量塊前后布置有平衡、工作柵極陣列，平衡、工作柵極陣列相對中…… 查看詳細 >
技術簡介： 一種超微錐電極陣列及其制備方法。首先對硅片進行干濕氧化形成SiO2膜，并采用正膠在上述SiO2膜光上刻出方形窗口；其次用TMAH溶液對上述SiO2膜方形窗口中裸露的硅片進行濕法刻蝕形成正四棱錐形凹…… 查看詳細 >
技術簡介： 一種毫微三級的跨尺度干粘附復合結構及其制備工藝，結構包括第一級底層傾斜的毫米級片狀結構，在其的傾斜表面覆蓋第二級微米級柱子陣列結構，第二級微米級柱子陣列的頂部設有第三級微米級蘑菇型…… 查看詳細 >
技術簡介： 一種基于液晶彈性聚合物的干粘附功能結構及制造工藝，功能結構包含兩層結構，頂層為隆起狀態的蘑菇狀陣列結構，底層為高彈性模量聚合物的凹槽結構，制造工藝是先進行頂層蘑菇狀陣列結構的制備，…… 查看詳細 >
技術簡介： 一種基于氣致動的干粘附復合結構及制造工藝，復合結構頂層為蘑菇狀陣列結構，底層為周期性陣列結構的氣閥板，氣閥板和蘑菇狀陣列結構通過一層低表面能材料粘結成為一個整體，氣閥板的通孔與氣壓…… 查看詳細 >
技術簡介： 一種基于電致動的干粘附復合結構及制造工藝，結構包含三層結構，頂層為蘑菇狀陣列結構，底層為高彈性模量聚合物與低彈性模量聚合物相間分布的周期性陣列結構，中間層為提供電場的柔性導電薄膜；…… 查看詳細 >
技術簡介： 本發明公開了一種微壓電加速度傳感器芯片及其制作方法，芯片由一對敏感梁與一對補充梁共同支撐懸空質量塊并使其懸空，質量塊與敏感梁、補充梁及邊框間有一定距離，使其保證質量塊振動時不影響敏…… 查看詳細 >
技術簡介： 本發明公開了一種力學性能優良的微納米尺度材料及其制備方法，包括微納米尺度材料基體以及覆蓋于微納米尺度材料基體表面的致密膜。該微納米尺度材料具有良好的變形穩定性及顯著的加工硬化性能，…… 查看詳細 >
技術簡介： 本實用新型公開了一種用于沖擊脈沖輻射天線饋電的超寬帶巴倫，采用兩根特性阻抗為100Ω等長同軸電纜在輸入端并聯，形成50Ω阻抗與脈沖源匹配；在輸出端串聯，形成200Ω特性阻抗與IRA特性阻抗匹…… 查看詳細 >
技術簡介： 本發明公開了一種寬頻帶高衰減共模傳導電磁干擾并聯混合型濾波器，包括無源共模濾波電感LCM，該無源共模濾波電感LCM的輸入端與高頻電流互感器LCT的輸出端相串聯，構成有源濾波器和無源濾波器；…… 查看詳細 >