[00059967]微壓電加速度傳感器芯片及其制作方法
技術詳細介紹
本發明公開了一種微壓電加速度傳感器芯片及其制作方法，芯片由一對敏感梁與一對補充梁共同支撐懸空質量塊并使其懸空，質量塊與敏感梁、補充梁及邊框間有一定距離，使其保證質量塊振動時不影響敏感梁及補充梁的運動，充分利用空間，增加質量塊質量，從而增加了結構的靈敏度，敏感梁上布置了壓電薄膜，壓電薄膜的上下表面都布置有上下電極，其中芯片的制作方法是通過干法刻蝕以及光刻得到硅基底中的由懸空質量塊、敏感梁和補充梁組成的可動結構，正面光刻并濺射形成芯片的上下電極，在硅質基底的背面粘結硼玻璃，硼玻璃與懸空質量塊預留有一工作間隙，最后得到芯片，該芯片能夠滿足高靈敏度、低側向效應的要求。
