[00059511]基于可動柵極式場效應晶體管的微力傳感器及其制備方法
技術詳細介紹
一種基于可動柵極式場效應晶體管的微力傳感器及其制備方法，結構包括由四根直梁支撐的中間質量塊，中間質量塊前端設置探針，中間質量塊前后布置有平衡、工作柵極陣列，平衡、工作柵極陣列相對中間質量塊的中心偏移，中間質量塊、直梁、探針與SiO2絕緣層不接觸，p型Si基底部分區域形成源、漏極，源、漏極之間的區域形成導電溝道，部分區域形成P+電極；制備方法先在P型Si基底制備好源極、漏極、導電溝道、P+電極并熱氧生成SiO2絕緣層并進行刻蝕圖形化，然后與另一塊多晶硅鍵合，對多晶硅部分區域進行硼離子重摻雜形成工作柵極陣列，前部刻蝕出探針的圖形，再刻蝕完成中間質量塊，直梁的全部圖形化，本發明微力傳感器能夠用于nN量級微力的測量。
