[00059966]一種基于電致動的干粘附復合結構及制造工藝
技術詳細介紹
一種基于電致動的干粘附復合結構及制造工藝，結構包含三層結構，頂層為蘑菇狀陣列結構，底層為高彈性模量聚合物與低彈性模量聚合物相間分布的周期性陣列結構，中間層為提供電場的柔性導電薄膜；制造工藝是先進行頂層的蘑菇狀陣列結構的制備，再進行中間層柔性導電薄膜的制備，然后制備底層彈性模量差異化分布的周期性陣列結構，最后進行復合結構的耦合成型；本發明能夠在保持蘑菇狀陣列結構高粘附強度的前提下，利用聚合物的電致動特性，實現干粘附復合結構在電場調控下的可控脫附與粘附，其制造工藝，采用基于光刻、壓印和旋涂的工藝手段，實現各層結構的準確可控制造，可廣泛用于帶式輸送機、機械手、微吸盤等干粘附領域。
