[00054266]一種異質結薄膜的原位加電透射電鏡截面樣品的制備方法
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所在地： 廣西壯族自治區南寧
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技術詳細介紹
項目簡介：本發明公開了一種異質結薄膜的原位加電透射電鏡截面樣品的制備方法,其包括如下步驟：一,除去異質結薄膜樣品表面的雜質；二,在樣品的上端面設置一層金屬導電膜；三,在金屬導電膜上貼上一片銅片；四,把樣品切割成片狀的樣品；五,對片狀的樣品進行研磨減??；六,通過離子減薄儀把樣品減薄出一個弧形凹槽；七,樣品轉移到原位測試芯片上；八,利用聚焦離子束儀對樣品的待電性能測試的膜層界面及銅片分別和原位測試芯片上的電性能測試電極及通電電極進行Pt層焊接,并對銅片和金屬導電膜進行Pt層焊接；九,對樣品切割出一個用于斷開金屬導電膜的缺口。本發明能夠方便原位測試芯片對異質薄膜的截面樣品進行電性能測試且操作方便。
