[00092305]等離子體源單元、等離子體源裝置及其應用
技術詳細介紹
本發明涉及等離子體源單元、等離子體源裝置及其應用。所述等離子體源單元包括能源供應系統和微波諧振腔系統，所述微波諧振腔系統包括同軸式微波諧振腔、金屬天線、同軸金屬柱、空心金屬圓柱和金屬陶瓷部，所述同軸式微波諧振腔在底部和頂部分別開設有不同軸的第一開口和第二開口；所述空心金屬圓柱外接所述第一開口處；所述同軸金屬柱同軸插設于所述同軸式微波諧振腔中，一端與所述頂部連接、另一端延伸出所述空心金屬圓柱外；所述金屬陶瓷部填充在所述同軸金屬柱和所述空心金屬圓柱之間；所述金屬天線插設于所述同軸式微波諧振腔中，一端與所述底部電連接，另一端延伸出所述第二開口；所述第二開口處外設有與所述能源供應系統相連的同軸轉接頭。
