[00092294]銅銦鎵硒薄膜電池的制備方法
技術詳細介紹
一種銅銦鎵硒薄膜電池的制備方法，包括如下步驟：在玻璃襯底的一側形成金屬背電極層；從玻璃襯底遠離該金屬背電極層的一側發射穿透玻璃襯底的第一激光束，以形成穿透金屬背電極層的第一刻槽；在金屬背電極層上及第一刻槽表面形成銅銦鎵硒光吸收層；在銅銦鎵硒光吸收層上形成緩沖層；在緩沖層上形成阻擋層；發射第二激光束，以在阻擋層上蝕刻形成深入至金屬背電極層的第二刻槽；在阻擋層和第二刻槽表面形成窗口層；發射第三激光束，以在窗口層上蝕刻形成深入至金屬背電極層的第三刻槽。上述方法制備的銅銦鎵硒薄膜電池具有不易短路的優點。
