[00092047]覆銅板的蝕刻設備及覆銅板的蝕刻系統
技術詳細介紹
本實用新型涉及一種覆銅板的蝕刻設備及覆銅板的蝕刻系統。該覆銅板的蝕刻設備，包括：圖形蝕刻框，包括內框與外框，外框套設于內框外，且外框與內框之間存在間隙，外框與內框用于承載待蝕刻覆銅板的一端為圖形蝕刻框的承載端，間隙為圖形蝕刻框的蝕刻區；噴淋件，包括噴淋器，噴淋器的噴頭設于蝕刻區內；固定件，包括抽真空裝置及與抽真空裝置連接的氣管，氣管的數目為多條，若干條氣管遠離抽真空裝置的一端穿設于內框上，若干條氣管遠離抽真空裝置的一端穿設于外框上，多條氣管用于除去待蝕刻覆銅板與承載端接觸處的氣體。使用上述覆銅板的蝕刻設備可以得到較高的產品良率。
