[00091987]微流道散熱芯片及其制備方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明提供一種微流道散熱芯片及其制備方法，微流道散熱芯片包括硅基本體以及設置于所述硅基本體上的隔離層，所述硅基本體頂部開設有隔離槽，所述隔離槽向下延伸出第一微流通道、第二微流通道以及第三微流通道，所述第一微流通道以及所述第三微流通道分別位于所述第二微流通道兩側；所述隔離層上開設有與所述第一微流通道對應的第一通孔、以及與所述第三微流通道對應的第二通孔。本發明提供的微流道散熱芯片及其制備方法，所述微流道散熱芯片通過將第一、第三微流通道與第二微流通道設置為不同深度來實現對流經其內的液體的流速進行控制，從而能夠精確控制散熱效果；而且通過所述制備方法制備出的微流道散熱芯片成本較低、適用于批量生產。
