[00091986]微機電系統器件及其制備方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種微機電系統器件，包括襯底和功能薄膜層，所述襯底包括第一表面、第二表面和背通孔，所述第一表面和所述第二表面相對，所述功能薄膜層設置在所述第一表面上，所述背通孔貫穿所述第一表面和所述第二表面，所述功能薄膜層具有多個第一通孔，所述第一通孔與所述背通孔連通。本發明還公開了一種微機電系統器件的制備方法。本發明中的微機電系統器件成本低，可用于制作流體傳感器和生物分子篩等器件，其襯底采用普通硅片即可，制備工藝步驟少，便于優化器件性能，達到較高的良率，均采用干法工藝進行刻蝕，具有較好的兼容性。
