[00091967]芯片器件及其制作方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明屬于拉曼光譜檢測技術領域，尤其公開了一種用于拉曼檢測的芯片器件，其包括基底、納米顆粒層以及多孔層；其中，所述基底的表面凹陷形成間隔排列的多個凹槽，所述凹槽的槽壁以及位于兩相鄰的所述凹槽之間的基底的表面上覆蓋有多孔層；所述納米顆粒層覆蓋于所述多孔層上。根據本發明的芯片器件具有多孔結構，具備較大的局域電磁場效應以及更多的拉曼活性增強點，使得該芯片器件具有高靈敏度。本發明還公開了上述芯片器件的制作方法，該制作方法工藝簡單，生產成本低，適于大批量生產。
