[00091966]柔性氣敏傳感器及其制備方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種柔性氣敏傳感器，包括依次疊層設置的襯底、第一電極、第一介電層、氣體敏感材料層、第二介電層以及第二電極；所述襯底為柔性襯底，所述氣體敏感材料為碳納米管材料或其功能化復合材料、石墨烯納米材料或其功能化復合材料。本發明還公開了如上所述的柔性氣敏傳感器的制備方法，應用印刷電子工藝在所述柔性襯底上依次制備第一電極、第一介電層、氣體敏感材料層、第二介電層以及第二電極。本發明提供的柔性氣敏傳感器結構簡單、制備工藝簡便、靈敏度高、成本較低。
