[00091964]一種傾斜式超大高寬比AFM探針及其制備方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
- 服務承諾
- 產權明晰
-
資料保密
對所交付的所有資料進行保密
- 如實描述
技術詳細介紹
摘要：本發明揭示了微納機械傳感器領域中的一種傾斜式超大高寬比AFM探針及其制備方法。該探針包括傾斜式針尖、懸臂梁及主體支撐結構，其特征在于采用頂層硅厚度等于AFM探針懸臂梁厚度的（100）型SOI硅片為制備原料；首先在SOI硅片的頂層硅上應用濕法刻蝕工藝形成AFM探針的懸臂梁，之后在位于懸臂梁頂端的(111)面上制備催化劑顆粒；然后采用化學氣相沉積工藝進行硅納米線的生長形成AFM探針的針尖，得到目標產物。本發明采用硅納米線生長工藝形成探針的針尖，突破了當前工藝對傾斜式超大高寬比AFM探針制備的限制，真正實現了傾斜式超大高寬比AFM探針可控制備。
