[00091958]場發射器件及其制作方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開一種場發射器件，包括襯底、設置在所述襯底上的緩沖層、分別設置在所述緩沖層兩端的發射極層和金屬集電極層、分別設置在所述發射極層和所述金屬集電極層上的電極層，其中，所述發射極層與所述金屬集電極層之間具有溝道。本發明的場發射器件中的集電極采用金屬材質，可以根據場發射器件的性能將發射極的尖凸部角度設計為任意角度，而且，由于所述集電極采用的是金屬材質，在濕法腐蝕介質膜層形成納米間距時不需要添加掩膜，簡化了工藝、降低了成本、提高了性能。
