[00091957]一種離子遷移管的制作方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明提供了一種離子遷移管的制作方法，在硅基襯底表面沉積金屬電極，并對硅基襯底進行刻蝕，以形成獨立的一對叉指電極，再在玻璃基片上開設與叉指電極所在區域對應的孔，將玻璃基片與硅基襯底粘合，且使叉指電極所在區域內嵌于孔中，根據需要將玻璃基片進行切片，以形成離子遷移管。本發明利用硅基襯底與玻璃基片實現電絕緣的兩對電極，并形成離子遷移通道，再根據實際需要將玻璃基片進行切片，形成離子遷移管，實現離子遷移管的微型化。
