[00091951]X射線探測器及其制作方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種X射線探測器及其制作方法。所述探測器為垂直型結構，包括自支撐氮化鎵襯底，該自支撐氮化鎵襯底的鎵面和氮極性面分別形成有電極結構，位于鎵面的所述電極結構的邊緣形成有鈍化層；并且所述自支撐氮化鎵襯底的電阻率大于108Ωcm，和/或，所述自支撐氮化鎵襯底的位錯密度小于106cm?2，和/或，所述自支撐氮化鎵襯底的厚度大于350微米。本發明使用電阻率在108Ωcm以上的氮化鎵襯底，使得漏電流達到一個較低的水平；使用垂直型結構，使得器件能探測更高強度的X射線，避免探測器達到飽和；使用邊緣鈍化層及場板，使得能耐加更大的偏壓，提高靈敏度，防止器件擊穿；以及使用350微米以上厚度的襯底，使得對高能量的X射線也有較好的響應。
