[00091942]藍寶石襯底納米孔制備方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明提供一種藍寶石襯底納米孔制備方法，包括以下步驟在藍寶石襯底表面形成一層單晶薄膜；在所述單晶薄膜上旋涂一層光刻膠；通過光刻機對光刻膠進行曝光；對曝光后的光刻膠進行顯影形成納米孔圖形；以形成有納米孔圖形的光刻膠為掩膜干法刻蝕所述單晶薄膜，將所述納米孔圖形轉移到單晶薄膜上；去除光刻膠，以形成有所述納米孔圖形的單晶薄膜為掩膜，對所述藍寶石襯底進行干法刻蝕，將所述納米孔圖形轉移到所述藍寶石襯底上；去除所述單晶薄膜。本發明提出的藍寶石襯底納米孔制備方法，通過激光干涉光刻配以干法刻蝕技術快速實現結構均勻、周期可控、占空比可控、低成本的納米孔拼接塊圖形化藍寶石襯底。
