[00091937]納流控二極管及其制作方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種納流控二極管，其包括納米管道，所述納米管道的管壁至少部分是由PDMS材料形成，所述PDMS材料的兩端不對稱的修飾有帶電基團。本發明還提供了該納流控二極管的制備方法，其主要是,首先應用光刻工藝和刻蝕工藝加工形成具有該納流控二極管結構的襯底；然后將該襯底與PDMS材料層通過不可逆鍵合形成納米管道，最后在納米管道的PDMS材料的兩端不對稱的帶電基團。與現有技術相比，本發明提供的納流控二極管結構簡單，制作過程簡便、成本低廉、重現性高、可反復使用、高離子強度溶液中整流效果好。
