[00091936]有機單晶薄膜晶體管及其制備方法
聯系人： 中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所
所在地： 江蘇蘇州市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種有機單晶薄膜晶體管，包括在基底上逐層形成的柵電極、絕緣層；間隔形成于絕緣層表面的源電極、漏電極；形成于絕緣層表面的修飾層及形成于修飾層表面且在源電極、漏電極之間的有源層，其中，有源層的材質為晶體取向一致的有機單晶薄膜。本發明還公開了其制備方法，包括步驟：A、在基底上逐層制備柵極、絕緣層，及間隔設置于絕緣層表面的源電極、漏電極；B、在絕緣層表面制備修飾層；C、利用溶液法在修飾層表面，形成一有機單晶薄膜作為有源層；其中，有源層為由取向一致的有機單晶組成的有機單晶薄膜。根據本發明的有機單晶薄膜晶體管不僅有利于載流子的傳輸、提高晶體管性能，還能夠實現大面積的快速制備。
