[00091629]一種基于介電潤濕的微液滴驅動器件及其制備方法
技術詳細介紹
本發明提供了一種基于介電潤濕的微液滴驅動器件，包括上下兩層芯片，其中，上層芯片包括上基板及依次設置在上基板表面的參考電極層和疏水層；下層芯片包括下基板及依次設置在所述下基板表面的控制電極陣列和功能層，所述功能層的材質為CYTOP；上層芯片的疏水層與下層芯片的功能層相對設置，上下兩層芯片之間由支撐物進行機械連接形成容納微液滴的空間，參考電極層與控制電極陣列均通過導線與控制電路進行電連接。該微液滴驅動器件的結構簡單，下層芯片中由一層CYTOP層替代現有技術中疏水層和介電層組成的兩層結構，該微液滴驅動器件所需驅動電壓低，可實現對微液滴的靈活操控。本發明還提供了該微液滴驅動器件的制備方法。
