[00091527]磁性封裝微機器人及其制備方法
技術詳細介紹
一種生物相容性封裝的磁性微機器人的制備方法，包括提供硅片，在硅片上制備Omnicoat犧牲層；在Omnicoat犧牲層上旋涂SU?8光刻膠形成SU?8基層；得到第一預制層結構；進行烘烤；進行圖形化曝光；在65℃烘烤2分鐘，然后在95℃烘烤2分鐘；在SU?8基層上涂覆磁性復合材料，進行烘烤；進行圖形化曝光；在65℃烘烤2分鐘，然后在95℃烘烤2分鐘；進行顯影操作,去離子水清洗，風干；涂覆SU?8光刻膠；進行烘烤；圖形化曝光；在65℃烘烤2分鐘，然后在95℃烘烤2分鐘；進行顯影操作，去離子水清洗，風干；得到生物相容性封裝的磁性微機器人。上述磁性封裝微機器人生物相容性和耐化學性較好。
