[00091526]L型靜電驅動微型機器人、制造方法與控制方法
技術詳細介紹
本發明提供了一種L型靜電驅動微型機器人、制造方法與控制方法。該L型靜電驅動微型機器人的制造方法包括以下步驟步驟S10制備犧牲層；步驟S20制造處理第一光刻膠層；步驟S30制造處理第二光刻膠層；步驟S40對第一光刻膠層、第二光刻膠層的曝光區域進行顯影，除去第一光刻膠層和第二光刻膠層的未曝光區域，從而形成L型結構；步驟S50對遠離犧牲層的L型結構的表面濺射沉積導電金屬層，并除去犧牲層。應用該L型靜電驅動微型機器人的制造方法所制造的微型機器人解決了現有技術中微型機器人無法同時滿足微型化、驅動力大、頻率響應高、供能方便簡單、耗能小、且控制精確的要求的問題。
