本發明涉及一種PMO薄膜的制備方法及應用；其中制備方法包括如下步驟：(1)提供酰氯化合物；(2)制備前驅體分子溶液；將所述酰氯化合物、3-氨基丙基三乙氧基硅烷及三乙胺混合，反應制得前驅體分子溶液；酰氯化合物:3-氨基丙基三乙氧基硅烷:三乙胺的摩爾比為0.5～1:1～2:1.2～2.4；前驅體分子的結構式為：(3)制備涂膜溶液：向前驅體分子溶液中加入模板劑、溶劑和稀鹽酸，制得涂膜溶液，模板劑的添加量為0～100％；(4)制備PMO薄膜；將涂膜溶液涂于基底表面，固化，制得PMO薄膜。本方法通過增大分子孔隙體積、降低分子極性、提高交聯度，達到新型PMO薄膜介電常數的降低和力學性質的保障。
