本發明涉及一種六氟丙烷基PMO薄膜的制備方法及應用;制備方法包括如下步驟:(1)制備六氟丙烷基前驅體分子溶液;在干燥氮氣的保護下,向異氰酸-3-(三乙氧硅基)丙酯的丙酮溶液中加入2,2-雙(3-氨基-4-羥苯基)六氟丙烷的丙酮溶液,冰浴中反應1.5~3h,加熱至室溫并保溫2~5h,制得六氟丙烷基前驅體分子溶液;(2)制備涂膜溶液:前驅體分子溶液中加入模板劑、溶劑和稀鹽酸,制得涂膜溶液,模板劑的添加量為0~100%;(3)制備PMO薄膜;將涂膜溶液涂于基底表面,固化,制得PMO薄膜。本制備方法通過增大分子孔隙體積、降低分子極性、提高交聯度,達到新型PMO薄膜介電常數的降低和力學性質的保障。