[00091412]一種過渡金屬硼化物涂層及其制備方法
技術詳細介紹
本發明提供了一種過渡金屬硼化物涂層及其制備方法，方法包括：將基底待沉積表面進行離子轟擊清洗；將離子轟擊清洗后的基底表面上用電弧離子鍍形成過渡金屬層；用磁控濺射與電弧離子鍍共沉積的復合鍍膜技術在過渡金屬層上形成過渡金屬硼化物涂層MBx。本發明中采用通過磁控濺射與電弧離子鍍相結合的MS/AIP復合沉積工藝，得到通過過渡金屬層與基底表面結合的過渡金屬硼化物涂層MBx；其中過渡金屬層通過電弧離子鍍進行沉積，具有高的離化率和粒子能量，在沉積過程中由于負偏壓的作用，可以對基底表面進行有效的離子轟擊，提高了沉積粒子的動能，使表面不斷沉積的粒子與表層原子發生冶金結合，最終使基底表面和沉積的過渡金屬硼化物涂層MBx的結合力大大提升。
