[00091410]一種具有金剛石/碳化硅復合涂層的工具及其制備方法
技術詳細介紹
本發明提供了一種具有金剛石/碳化硅復合涂層的工具，包括工具基體，以及設置在所述基體上的多層涂層結構，所述多層涂層結構包括碳化硅/金剛石復合涂層，以及金剛石涂層，自基體表面向上，所述碳化硅/金剛石復合涂層和金剛石涂層依次交替排布形成多層結構，且所述多層涂層結構的頂層為金剛石涂層。本發明提供的多層涂層結構中的每一層中均含有金剛石相的連續生長，增強了各層之間的界面結合強度，能夠有效降低涂層的內應力，增強薄膜與基體的粘附性，尤其是有利于抵抗工具在切削加工中產生的高強切應力，還可增強在整個涂層厚度方向的整體斷裂韌性。本發明還提供了該具有金剛石涂層的工具的制備方法。
