[00091407]一種具有金剛石涂層的硬質合金件及其制備方法
技術詳細介紹
本發明提供了一種具有金剛石涂層的硬質合金件，包括硬質合金基體，以及依次設置于所述基體上的碳化硅層、碳化硅?金剛石梯度復合涂層和金剛石涂層，所述碳化硅?金剛石梯度復合涂層中，沿厚度方向由所述碳化硅層向所述金剛石涂層，碳化硅含量逐漸減少而金剛石含量逐漸增加。本發明通過在硬質合金基體上先沉積碳化硅層和碳化硅?金剛石梯度復合涂層作為中間層，再沉積金剛石涂層，使得基體表面的整個涂層從基體到頂層不僅成分呈梯度變化，無新界面的增加，而且熱膨脹系數呈梯度變化，從而有效降低金剛石薄膜中的熱應力，提高薄膜結合力。本發明還提供了該具有金剛石涂層的硬質合金件的制備方法。
