交易價格: 面議
所屬行業: 其他新材料技術
類型: 發明專利
技術成熟度: 正在研發
專利所屬地:中國
專利號:CN201510974331.X
交易方式: 完全轉讓 許可轉讓 技術入股
聯系人: 中國科學院深圳先進技術研究院
進入空間
所在地: 廣東深圳市
本發明適用于金剛石合成技術領域,提供了一種用于金剛石單晶同質外延的籽晶托盤、基臺組件及其應用。所述籽晶托盤置于微波等離子體化學氣相沉積裝置的水冷臺上,所述籽晶托盤中心開設有用于放置籽晶的穿孔。所述用于金剛石單晶同質外延的基臺組件,包括水冷臺和設置在所述水冷臺上的籽晶托盤,所述籽晶托盤為上述的用于金剛石單晶同質外延的籽晶托盤。
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