[00091363]集成檢測傳感器及觸摸感應設備
技術詳細介紹
本發明實施例公開了一種集成檢測傳感器和觸摸感應設備。所述傳感器包括第一結構體、第二結構體及粘接層；第一結構體，包括第一電極、第二電極、及設置于第一電極與第二電極之間的第一柔性膜；第一柔性膜具有熱釋電效應及壓電效應，第一電極及第二電極用于輸出溫度和壓力的混合測量信號；第二結構體，包括第三電極、第四電極、及設置于第三電極與第四電極之間的第二柔性膜；第二柔性膜具有壓電效應，第三電極及第四電極用于輸出單純壓力測量信號；粘接層，用于將第一結構體與第二結構體絕緣連接。本發明實施例的技術方案實現了溫度和力信號在單一傳感器上同時檢測。傳感器具有質量輕，厚度薄等特點，可應用于智能皮膚、機器手、假肢手等領域。
