[00091358]一種基于變柵距光柵透鏡的微型光譜儀
技術詳細介紹
本發明公開了一種基于變柵距光柵透鏡的微型光譜儀，包括：入射針孔、變柵距光柵、微凸透鏡、透明基板以及陣列光電探測器。其中，變柵距光柵設置于微凸透鏡的凸面，微凸透鏡的平面與透明基板固定連接；待測光信號從入射針孔入射，被分為包含多種波長光的衍射光信號；微凸透鏡對衍射光信號進行聚焦，聚焦后匯聚在陣列光電探測器上形成光點，陣列光電探測器感測匯聚其上的光點。本發明提出的基于變柵距光柵透鏡的微型光譜儀采用變柵距光柵與微凸透鏡結合的方式消除像差，從而達到提高光譜分辨率的目的，且變柵距光柵與微凸透鏡均采用微納加工工藝制作，體積大幅減小，便于集成到嵌入式檢測系統中。
