[00091356]電容型壓力傳感器及其制備方法
技術詳細介紹
本發明提供了一種電容型壓力傳感器及其制備方法。所述電容型壓力傳感器包括：第一基底和第二基底；設于第一基底上的第一電極層和設于第二基底上的第二電極層，第一電極層和第二電極層位于第一基底和第二基底之間；設于第一電極層和第二電極層之間的介電層；第一電極層包括多個設于第一基底和介電層之間的凸起。所述制備方法包括：形成包括多個凸起的第一電極層；在第一電極層上形成第一基底；形成第二基底；在第二基底上布設第二電極層；在第二電極層上布設介電層；將第一電極層和第一基底的組合布設于介電層上以使第一電極層位于第一基底和介電層之間。本發明大幅度提高了電容型壓力傳感器的靈敏度，有效縮短了壓力傳感器的響應時間。
