[00091355]一種柔性壓力傳感器及其制作方法
技術詳細介紹
本發明公開了一種柔性壓力傳感器，包括相對設置的兩個電極結構，每一電極結構包括柔性襯底以及設置在柔性襯底上的導電層，兩個電極結構的導電層相互朝向地抵觸連接；其中，柔性襯底包括襯底本體及設置于襯底本體上的多個凸結構，導電層覆設在柔性襯底的具有多個凸結構的表面上。根據本發明的柔性壓力傳感器利用位于其內部的由柔性材料形成的多個凸結構在受到壓力作用時容易變形的特點，實現了兩個相對的電極結構中的導電層在接觸時接觸面積的變化而引起的電阻的變化、調節和控制，進而實現了壓力傳感。本發明還公開了上述柔性壓力傳感器的制作方法，相比現有技術中柔性壓力傳感器一般所采用的MEMS加工工藝，該制作方法更為簡單便利、成本更加低廉。
