[00091339]多孔硅氣體檢測裝置
技術詳細介紹
本發明涉及一種多孔硅氣體檢測裝置，包括多孔硅微腔晶體、測試腔、光纖光譜儀和電信號檢測系統，測試腔與多孔硅微腔晶體密封配合連接，多孔硅微腔晶體表面露于測試腔的內部，光纖光譜儀用于檢測和記錄多孔硅微腔晶體的光學信號，電信號檢測系統與多孔硅微腔晶體連接用于檢測并分析多孔硅微腔晶體的電信號。采用測試腔與單晶硅直接組成測試腔體，無需復雜加工過程，易于實現，價格低廉，便于推廣應用；同時，通過多孔硅微腔的表面功能化修飾，并將多孔硅光學信號和電學信號檢測結合起來實現對有害氣體的同步檢測，再進行多參數的集成分析，快速且準確度高。
