本發明適用于涂層技術領域,提供了一種測定含氫類金剛石涂層在低溫下的熱膨脹系數的方法,包括以下步驟以兩種不同襯底制備a-CH涂層樣品A樣品和B樣品;依次測量A樣品和B樣品在T0、T1下的曲率半徑RA0和RB0、RA1和RB1;采用Stoney公式分別計算A樣品和B樣品在ΔT=T1-T0下樣品的應力變化ΔσA1和ΔσB1,經變形后得到a-CH涂層的熱膨脹系數αf1;重復上述步驟操作,獲得T2、T3…Ti-1、Ti溫度下所述a-CH涂層在不同的溫度區間Ti-1→Ti內的平均線膨脹系數αfi,其中i=1、2、3…,獲得所述a-CH涂層的線膨脹系數隨溫度的變化曲線。