[00091301]熱電檢測系統與熱電檢測方法
技術詳細介紹
本發明提供一種熱電檢測系統與熱電檢測方法。所述熱電檢測系統用于檢測材料納米尺度的熱電性能，所述熱電檢測系統包括掃描探針、樣品臺、加熱器件、檢測電路和控制器，所述樣品臺用于承載樣品，所述掃描探針用于在探針激勵模式下對樣品進行加熱與檢測，所述加熱器件用于在非探針激勵模式下對樣品進行加熱，所述掃描探針還用于在非探針激勵模式下對樣品進行檢測，所述檢測電路用于偵測所述掃描探針上的電信號變化而輸出檢測信號，所述控制器用于對信號的輸入與輸出進行控制及接收所述檢測電路輸出的檢測信號并基于所述檢測信號分析所述樣品的熱電性能。
