[00091296]一種采用二分法對硅通孔進行故障檢測的方法和系統
技術詳細介紹
本發明公開了一種采用二分法對硅通孔進行故障檢測的方法和系統，所述方法包括：預先根據故障硅通孔的分布對測試區域進行劃分，將測試區域劃分為中心區域、邊緣區域和不合格區域；對硅通孔進行分組，每組包括有數個硅通孔，依次將測試用探針接觸每組硅通孔，檢測各組硅通孔的阻抗和容抗特性，并分析各組中是否有故障硅通孔，以及判斷故障硅通孔所處測試區域；采用二分法對中心區域有故障硅通孔的組進行重新檢測，移動探針位置進行定位測試，定位故障硅通孔的位置。本發明可以探測面積小的硅通孔的故障情況，節省了工藝難度與成本。與探針逐個對硅通孔測試相比，大幅提高了測試效率，同時解決了硅通孔在面積非常小時無法用探針探測的情況。
