[00091251]光掩模集成微塑型方法
技術詳細介紹
本發明提供一種簡單低成本、可提高生產效率的光掩模集成微塑型方法，其包括如下步驟：S101、在顯微鏡載玻片的表面涂覆形成犧牲層，并進行烘焙；S102、向微型模具的型腔內滴入光刻膠，并蓋上冷卻后的顯微鏡載玻片；S103、對微型模具先進行曝光前預加熱，即在50℃～100℃范圍內選擇多個溫度由低至高地依次烘烤；S104、讓微型模具在紫外線光源照射下曝光，使型腔內的納米復合材料固化；S105：對微型模具進行曝光后烘烤，即在50℃～100℃范圍內選擇多個溫度由低至高地依次烘烤；S106、將微型模具冷卻到室溫后，從模具中脫模，移走載玻片和三維微結構，并除去未交聯的薄膜；S107、沖洗三維微結構，并進行干燥。
