[00090825]一種無殘余層的卷對卷納米壓印設備
技術詳細介紹
一種無殘余層的卷對卷納米壓印設備。
納米壓印設備包括傳輸機構、涂覆機構、壓印機構、固化機構；傳輸機構包括兩組進料輥/收料輥，第一組將待壓印液態聚合物物送至壓印機構、并攜帶走殘余層聚合物，另一組用于接收壓印機構上的成形固化聚合物；當纏繞于進料輥/收料輥上的薄膜與壓印機構中的模板輥分離時，聚合物被撕裂，殘余層聚合物隨薄膜前進，余下聚合物正好完全充滿模板輥圖案；在模板輥下方完成殘余層剝離的聚合物旋轉到上方時，受固化機構的作用而固化成型，當模板輥與上方薄膜分離時，固化成型的聚合物完全跟隨薄膜前進，得到無殘余層的圖案。納米壓印設備可以連續、高效、廉價地進行無殘余層納米尺度圖案轉移。
