[00090038]一種自組裝氧化釩薄膜的制備方法
技術詳細介紹
一種自組裝氧化釩薄膜的制備方法，屬于無機半導體功能材料領域。包括以下步驟：對襯底先用丙酮溶液超聲清洗，再用去離子水超聲清洗，最后用無水乙醇超聲清洗后烘干；將烘干后的襯底放入十八烷基三氯硅烷-甲苯溶液中靜置后在紫外光中照射；將V 2 O 5 和抗壞血酸溶解在水中，并加入稀HCl調整PH，至透明澄清藍色溶液A；將醋酸鈰和仲鎢酸銨溶解在水中加入稀HCl調整PH形成溶液B；將溶液A和溶液B混合，邊混合邊攪拌加入聚乙二醇，然后密封陳化；將經紫外光照射后的襯底放入密封陳化后溶液中后提出烘干；最后在Ar氣中熱處理。本發明在較低溫度下合成避免高溫條件下氧化釩的毒性，簡化了前軀體的制備的工藝流程，有利于環保和操作人員的健康。
