[00089918]一種多孔碳納米薄膜及其微測輻射熱計
聯系人： 中科院重慶綠色智能技術研究院德領科技
所在地： 重慶重慶市
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技術詳細介紹
本發明涉及一種多孔碳納米薄膜及其微測輻射熱計。
多孔碳納米薄膜中sp2雜化狀態的碳含量高于75％，薄膜的孔隙半徑為30nm～500nm，孔隙率為30％～70％，多孔碳納米薄膜的厚度為30nm～3000nm。采用兩步刻蝕的方法制備在濺射沉積碳納米薄膜過程中通入氧氣進行選擇性刻蝕，形成孔隙結構；進而，引入超薄金屬掩蔽，在氧氣刻蝕氣氛中進行二次刻蝕，最終形成具有較好孔隙率的多孔碳納米薄膜；該多孔碳納米薄膜可以應用于微測輻射熱計中，作為紅外吸收增強材料或者單獨作為紅外吸收層，不僅提高器件的紅外吸收率和探測靈敏度，而且可以實現寬波段紅外吸收，器件結構簡單，工藝兼容，有優異的非制冷紅外探測性能。
