[00089905]一種用于石墨烯生長的工藝腔
聯系人： 中科院重慶綠色智能技術研究院德領科技
所在地： 重慶重慶市
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技術詳細介紹
本發明公開了一種用于石墨烯生長的工藝腔。
石墨烯生長的工藝用于生產石墨烯薄膜，包括腔體，所述腔體的上端和下端的內壁上均設有一環形安裝槽，每個所述環形安裝槽中均設有耐高溫碳碳材料圓筒。本發明中，由于腔體的上端和下端管壁安裝了耐高溫碳碳材料圓筒，碳碳材料容易吸附銅及黑色炭殘留物，腔體長時間使用后銅及黑色炭殘留物聚集在耐高溫碳碳材料圓筒上，當腔體使用40天至50天后，拆掉耐高溫碳碳材料圓筒，安裝新的耐高溫碳碳復合材料圓筒，石墨烯生長的工藝可以恢復生產，工藝腔的清洗間隔周期延長，清洗過程時間縮短。
