聯系人: 中科院重慶綠色智能技術研究院德領科技
所在地: 重慶重慶市
本發明公開了一種化學氣相沉積在硅電極上定位橫向生長氧化鋅納米線的方法。
氧化鋅納米線的方法包括鋅蒸氣制備、鋅蒸氣輸運和氧化鋅合成沉積步驟,鋅蒸氣輸運步驟中,鋅蒸氣與硅電極生長面接觸時速度方向與硅電極生長面呈85-95°夾角。特別的,鋅蒸氣的速度方向與重力方向呈0-5°夾角。本發明鋅蒸氣與硅電極接觸時速度方向與硅電極生長面呈85-95°夾角,鋅蒸氣首先在棱邊處與氧氣反應結晶生成氧化鋅納米點,該納米點擇優生長,最終形成橫向生長的氧化鋅納米線。本發明無需在表面預先蒸鍍金屬催化劑,具有工序節約,無雜質的優點;本氧化鋅納米線的方法的制造方法還能在硅電極上單獨制得橫向生長的氧化鋅納米線。