[00089434]一種氮氧鈦鋁/氮化鈦鋁/鈦鋁復合膜的制備方法
聯系人： 馬女士
所在地： 遼寧沈陽市
- 服務承諾
- 產權明晰
-
資料保密
對所交付的所有資料進行保密
- 如實描述
技術詳細介紹
本專利技術介紹了一種氮氧鈦鋁/氮化鈦鋁/鈦鋁復合膜的制備方法。
氮氧鈦鋁/氮化鈦鋁/鈦鋁復合膜制備方法依次包括：1、沉積技術及靶材成分的確定；2、基體工件的選擇與前處理；3、基體工件懸掛方位的確定；4、真空加熱處理；5、預轟擊工藝的確定；6、沉積工藝的確定。氮氧鈦鋁/氮化鈦鋁/鈦鋁復合膜制備方法提高了膜層與基體之間的附著力，同時提高了膜層硬度，并具有良好的穩定性和可重復性。
