[00081637]一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法
技術詳細介紹
本[發明專利]公開一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，在氮氣環境下利用電火花產生的高溫使鋁板表面的鋁與氮氣反應，進而在鋁板表面生成氮化鋁薄膜層。具體包括以下步驟：1)清洗，首先將鋁板置于裝有丙酮的超聲波清洗機中清洗去除鋁板表面油污，然后將鋁板置于堿液中浸泡去除鋁板表面的氧化層；2)氮化鋁薄膜層制備，在氮氣環境下，將脈沖電源的一極與鋁板連接，將脈沖電源的另一極與工具電極連接，利用工具電極與鋁板間放電產生的瞬時高溫將鋁板表面的鋁氮化成氮化鋁。與現有技術相比，本[發明專利]具有制備工藝簡單，加工效率高，生產成本低，氮化鋁薄膜層不易剝落的特點。
