[00081510]基于對稱型雙柔順鉸鏈的三自由度微定位平臺
技術詳細介紹
本[發明專利]提供一種基于對稱型雙柔順鉸鏈的三自由度微定位平臺，包括定平臺、動平臺、設置在定平臺上的驅動器和用于連接定平臺和動平臺的三個杠桿放大機構；三個杠桿放大機構均勻布設在動平臺的外圍，并分別與定平臺、動平臺和驅動器連接；其中，每個杠桿放大機構包括活動杠桿、雙柔順鉸鏈和設置有雙柔順鉸鏈的導向機構；活動杠桿通過雙柔順鉸鏈分別與定平臺和驅動器連接，并通過導向機構與動平臺連接；雙柔順鉸鏈為對稱型雙柔順鉸鏈。該微定位平臺在滿足安裝空間和固定頻率等各種條件的前提下，可提高位移定位精度和獲得盡量大的行程；其具有矯正位移輸出功能的微定位平臺，使得位移盡量呈線性輸出，從而減小耦合位移。
