[00080618]一種物品表面形貌檢測方法及裝置
技術詳細介紹
本[發明專利]公開一種物品表面形貌檢測方法：①低相干光線從三端環形器的端口1射進，從端口2射出，經第一透鏡準直后從x?y掃描振鏡中的x振鏡射入，y振鏡射出；③射出的光線經第二透鏡聚焦后經過一分光片被分為兩部分光線，一部分從玻璃底面反射，作為參考光，另一部分穿透玻璃后射到被樣品表面并反射，作為樣品光；④兩部分光線共光路返回，經第二透鏡匯聚到掃描振鏡的y振鏡，經y振鏡射入x振鏡，然后射出；⑤光線經第一透鏡匯聚進入三端環形器的端口2，然后從端口3射出；⑥從端口3射出的光線進入光譜儀，光譜儀傳遞數據給電腦；⑦掃描振鏡對樣品進行逐點掃描；⑧電腦計算相鄰位置的相位差和深度差Δz，得到最終樣品表面形貌的定量分布情況。
