[00079326]一種新型交替增量式測量微位移傳感器
技術詳細介紹
本實用新型公開了一種新型交替增量式測量微位移傳感器，包括激光束、兩塊反射鏡間、光電探測器一、光電探測器二和處理系統。運用該傳感器，通過激光束在一組平行設置的兩塊反射鏡之中不斷反射，最終照射到兩組光電探測器上，改變兩塊反射鏡的間距，即會改變激光束的反射路徑，每組光電探測器上的三個探測部件多次感應激光束，處理系統根據每組探測部件感應到激光束的次數和感光順序以及探測部件間的間距處理得到一個探測距離值，這個探測距離值遠遠大于兩塊反射鏡間距的真實改變值，處理系統能夠通過這個探測距離值來計算出兩塊反射鏡間距的真實改變值，該傳感器結構簡單，測量可靠，精度較高，易于實現批量制造。
