[00079314]一種增量式小量程位移傳感器
技術詳細介紹
本實用新型公開了一種增量式小量程位移傳感器，該傳感器包括激光束、兩塊反射鏡間、分布式光電探測器和處理系統。運用該傳感器，通過激光束在一組平行設置的兩塊反射鏡間不斷反射，最終照射到分布式光電探測器上，改變兩塊反射鏡的間距，即會改變激光束的反射路徑，分布式光電探測器上的探測部件一、探測部件二和探測部件三多次感應激光束，處理系統根據探測部件接收到激光束的次數以及探測部件間的間距處理得到一個探測值，這個探測值大于兩塊反射鏡間距的真實改變值，處理系統能夠通過這個探測值來計算出兩塊反射鏡間距的真實改變值，該傳感器結構簡單，適用于被測物體位移變化的測量，測量可靠，精度較高，易于實現批量制造。
