[00078967]一種交替增量式測量微位移傳感器及測量方法
技術詳細介紹
本發明公開了一種交替增量式測量微位移傳感器，包括激光束、兩塊反射鏡間、光電探測器一、光電探測器二、導軌一、導軌二和和控制處理系統。運用該傳感器，通過激光束在一組平行設置的兩塊反射鏡之中不斷反射，最終照射到兩組光電探測器上，改變兩塊反射鏡的間距，即會改變激光束的反射路徑，在每組光電探測器所在導軌上移動光電探測器感應激光束，控制處理系統根據光電探測器的感光里程及感光方向處理得到一個探測位移值，控制處理系統能夠通過這個探測位移值再加上或者減去光電探測器在軌道上的移動距離值經過計算后得出兩塊反射鏡間距的真實改變值，該傳感器結構簡單，測量可靠，精度較高，易于實現批量制造。
