[00078938]一種基于振動模態耦合的MEMS振蕩器及控制方法
技術詳細介紹
一種基于振動模態耦合的MEMS振蕩器，由兩個并排布置的懸臂梁?質量塊結構作為諧振子，選用了懸臂梁結構的縱向拉伸及橫向彎曲振動模態作為振蕩器的工作模態。其檢測端使用了壓阻法測振，通入檢測電流后可以同時拾取兩個振動模態的信號，進而將信號轉入兩組閉環控制器分別進行反饋調制，隨后采用靜電力輸出的方法對拉伸與彎曲模態進行激振，從而實現兩種模態的同時自激振蕩。同時由于模態間的耦合關系，可以借由控制其中一個振動模態的振幅調節另一模態的諧振頻率。兩種模態共享一個諧振結構，受溫度影響的幅度相同，亦可以借助一個模態對另一模態進行溫度補償。
